在超純水系統中，顆粒的去除通常涉及以下幾個關鍵步驟和技術：

1. 預處理階段：這可能包括多介質過濾器，使用砂濾、碳濾或其他材料的濾層來去除水中的大顆粒雜質、懸浮物和部分有機物。

2. 精密過濾：采用更細的過濾器，如5微米乃至更小孔徑的PP濾芯或精密過濾器，可以攔截更小的顆粒物。

3. 反滲透（RO）：反滲透膜具有非常緊密的孔結構，一般可以阻擋所有溶解性的大分子及絕大部分的鹽分和顆粒，對于粒徑大于其膜孔徑的顆粒有極高的去除效率。

4. 超濾（UF）：雖然在某些超純水系統中可能不是必須的，但超濾可以作為反滲透前的預處理或特定應用中去除病毒和更細小顆粒的有效手段。

5. 離子交換（IX）：雖然主要針對無機離子，離子交換樹脂床在某些情況下也能去除水中的微小顆粒。

6. 連續電去離子（EDI）：EDI單元通過電場作用下離子交換樹脂的連續再生過程高效去除離子，同時，水流經EDI模塊時，部分顆粒物也可能因電荷作用而被去除。

7. 終端過濾：使用0.22微米甚至更小孔徑的過濾器（如終端過濾器、除菌過濾器）來去除殘留的微粒、細菌等，確保終水質的無菌狀態和極低顆粒水平。

8. 紫外消毒（UV）：雖然UV主要用于滅活微生物，但它也可以間接幫助去除某些通過光解作用變得更大而易于過濾的有機顆粒。

通過這些綜合技術的應用，超純水系統能夠達到極高純度，有效去除水中的各種顆粒物，滿足科研、半導體制造、生物醫藥等領域的嚴格要求。

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